在脱气过程中,大部分气体是水蒸气,有时高达产量的1%或更多。对于一个1000公斤/小时的装置,这相当于10升/小时的水或10立方米/小时的水蒸气(在标准条件下),这些都需要被抽走。在较低真空下,这需要理论上10,000立方米/小时的抽吸能力,这将需要非常大的装置。因此,在真空脱气过程中使用了坚固的冷阱技术。这种技术使用非常冷的循环介质进行冷却,使得抽出的水蒸气转变为固态(再升华)。
附着在传热表面上的冰(以及所有其他附加抽出的物质)可以在过程中通过机械清洁刮除,或者通过解冻冲洗掉。减少的泵送体积,由剩余气体和由于高流速可能存在的聚合物丝或液滴组成,最终通过安全过滤器过滤,然后剩余的气流进入泵中。通过在Gneuß真空技术中使用升华器,泵送体积大大减少,这使得使用更小的泵和更低的能耗成为可能。此外,所使用的真空发生器的可靠性也得到了提高。